京儀裝備國內首臺晶圓自動翻轉倒片機成功應用 IC產業關鍵自動化裝備實現國產

時間:2019-12-28 05:22:06點擊量:71 作者:楊超月

  晶圓倒片機是用來調整集成電路產線上晶圓生產材料序列位置的一款設備,它的任務是將產線上的晶圓通過制程需要進行分批、合并、翻轉后進行下一道程序,這就要求晶圓倒片機擁有極高的傳送效率和潔凈程度。近日,區內企業北京京儀自動化裝備技術有限公司(以下簡稱“京儀裝備”)經過多年探索,成功研發出國內首臺晶圓自動翻轉倒片機,破解了國產晶圓自動翻轉倒片機自動化難題。

  晶圓自動翻轉倒片機是一項難度極高的工藝。對此,京儀裝備總經理趙力行表示,“運動都會產生一定的摩擦,產生摩擦就會產生顆粒磨損,會污染這個晶圓,這些都是我們需要避免的,所以包括旋轉的過程中,也不能夠有其他的污染物掉落在晶圓上”。

  京儀裝備經過多年技術積累,技術攻關小組經過無數次的實驗,通過改變力的傳感器作用原理,同時對結構進行重新優化設計,終于攻克了國產晶圓自動翻轉倒片機不能自動翻轉的難題。

  “這款晶圓倒片機是國內首臺具有(自動)翻片功能的倒片機,也是我們打破國外壟斷之后,現在技術又上了一個新的臺階,可以和國外最主要的競爭對手同臺競技了?!壁w力行表示,目前,京儀裝備研發的首臺晶圓自動翻轉倒片機已經在上海集成電路研發中心得到成功應用。早期型號倒片機則已經在中芯國際、長江存儲等多家企業得到應用。

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